Institut für Mikrosystemtechnik

Einführung

Die folgenden Web-Seiten informieren in komprimierter Form über die wichtigsten aktuellen Forschungs- und Entwicklungsprojekte des Instituts für Mikrosystemtechnik an der Technischen Universität Hamburg-Harburg und benennen die jeweils zuständigen wissenschaftlichen Mitarbeiter der entsprechenden Projekte sowie aktuelle Veröffentlichungen zu diesen Themen.

Das Institut für Mikrosystemtechnik beschäftigt sich mit der Anwendung von Prozessen der Halbleitertechnologie z.T. in modifizierter Form auf optische Systeme für die optische Nachrichtentechnik und Sensorik, Sensoren sowie Mikrosysteme vorwiegend für die Analytik im Bereich der Umwelt- und medizinischen Meßtechnik sowie mit der Entwicklung von Technologien und Prozessen, die auch von klein- und mittelständischen Unternehmen umgesetzt werden können. Darüberhinaus wird die in diesem Umfeld besonders wichtige Aufgabe der Simulation und Dimensionierung solcher Mikrosysteme durchgeführt und die dafür notwendige Methodik weiterentwickelt. Die Ausrichtung des Instituts auf diese Themenfelder besteht seit mehr als 15 Jahren. Ein weiteres Arbeitsfeld ist die Entwicklung kostengünstiger, hocheffektiver Dünnschichtsolarzellen auf der Basis neuartiger Verfahren und Materialkombinationen und -systeme, sowie von Methanol-Brennstoffzellen.

Die genannten Themenfelder werden von derzeit 15 wissenschaftlichen und mehreren technischen Mitarbeitern bearbeitet, unterstützt von jährlich typischerweise 15 bis 20 Studierenden vornehmlich der Elektrotechnik und Physik im Rahmen von Studien- und Diplomarbeiten. In der Lehre ist das Institut für Mikrosystemtechnik vorwiegend in die Elektrotechnik mit der Vertiefungsrichtung Mikroelektronik, eingebunden, die in einem Studienmodell eine spezifische Vertiefung in der Mikrosystemtechnik aufweist. Vorlesungsinhalte sind u.a. Halbleitertechnologie, Optoelektronik, Mikrosystemtechnik in Entwurf und Technologie sowie Photovoltaik.

Wir würden uns freuen, wenn diese aktualisierte Zusammenstellung auf großes Interesse stieße und die Neugier weckte, eigene in diesem Umfeld angesiedelte Vorhaben und Probleme mit uns zu erörtern und sie zu gemeinsam erarbeiteten Lösungen zu führen.

Prof. Dr.-Ing. habil. J. Müller