09.04.2012
Buchneuerscheinung von Klaus Dembowski : Computernetzwerke
20.03.2012
Hamburger TU-Student ist Träger des Fafnir-Preises 2012. Am 16.03.2012 war die Preisverleihung.
09.02.2012
Es sind neue studentische Arbeiten zu vergeben, nähere Informationen finden Sie hier.
28.11.2011
Preisverleihung der Nordmetall-Stiftung an Ibrahim Dag für seine Diplomarbeit im Institut für Mikrosystemtechnik.
Reinraum
Reinraumklasse ISO 2 auf den Arbeitsflächen
Reinrauminventar:
1. Chemikalienboxen für Arbeiten mit hochkonzentrierten Säuren / Laugen
(Flußsäure, Salpetersäure, Schwefelsäure, Ammoniak etc.)
und Lösungsmitteln (Aceton, 2-Propanol, Photoresist, Remover etc.)
2. Anodische Bonder
3. Critical Point Dryer
4. Belichter
5. Mikroskop
6. Temperöfen
7. Photolackschleuder
8. Hotplate
9. Primer
10. div. kleine Laborgeräte
Im Reinraum können Wafer und andere Substrate mit diversen Chemikalien geätzt und gereinigt werden.
Diese Prozesse werden getrennt nach Metallen und Halbleitern in separaten Chemikalienboxen durchgeführt.
Im Gelbraum können Photoprozesse mit Strukturgrößen von ca. 500 nm realisiert werden.