Ausstattung des Institutes

  • Automatisches Positioniersystem von Melles Griot mit Auflösungsvermögen im nm-Bereich
  • Ausstattung zur FDTD- und PW-Simulation
  • Hoch auflösender optischer Spektrum-Analysator
  • Abstimmbare, hoch auflösende Laserquellen im Wellenlängenbereich 1260 nm – 1640 nm
  • Optischer Monochromator (1/4 m)
  • Q-switched NdYAG-Laser mit THG gepumpten, optisch parametrischem Oszillator (355nm – 2.5 µm)
  • Wellenleiter – Dämpfungsmeßplatz
  • Wellenleiter – Nah- und Fernfeldanalyse
  • ATR Spektrometer zur Messung von Brechungsindizes dünner Filme
  • Oberflächenplasmonen Spektrometer
  • Hochfeldpolung (Corona und Kontakt) mit in-Situ Überwachung der zweiten Harmonischen
  • Maker – Fringe – Aufbau
  • Teng-Man Messapparatur (Pockels Effekt)
  • Lumineszenzmeßplatz
  • Reinraum (class100)
    • Ultra Reinstwasseranlage,
    • Spin-Coater
    • Vakuumtrockenanlage
    • Maskaligner
    • Elektronenstrahlverdampfer (Gold, Chrom, Silber, Aluminium)
    • Thermischer Verdampfer (Gold)
    • RF- und DC Sputteranlage
    • Oberflächenprofilometer (Dektak)
    • UV-VIS-NIR-Absorptionsspektrometer
  • PECVD-Plasmaanlage
  • Rasterkraftmikroskop
  • Hochfrequenz-Meßplätze, X- und Ka-Band, tiefe Temperaturen, hohe Magnetfelder
  • Apparatur zur Messung von Magnetotransporteigenschaften im Temperaturbereich 1,6 K < T < 400 K
  • Breitbandiges dielektrisches Meßsystem
  • InGaAs-NIR-Kamera
  • Hochauflösendes digitales S/W Kamerasystem